A Grenoble, au centre des Alpes, le LETI est un institut de recherche appliquée en micro et nano technologies, technologies de l’information et de la santé.

Interface privilégiée du monde industriel et de la recherche académique, il assure chaque année le développement et le transfert de technologies innovantes dans des secteurs variés via des programmes de recherche utilisant nos plateformes technologiques.

En microélectronique il est aujourd’hui crucial d’assurer l’intégrité et la propreté des dispositifs tout au long de leur conception. A cet effet des procédés de nettoyage, dit stripping, sont développés pour permettre le retrait des résines et polymères post gravure. Le challenge dans ce domaine est d’assurer un stripping efficace tout en restant compatibles avec une diversité de matériaux toujours croissante. Pour répondre à ces besoins le Leti a pour objectif de développer des procédés de stripping efficaces tout en tenant compte des problématiques environnementales actuelles.

Le travail, à dominante expérimentale, se déroulera en salle blanche sur des équipements dédiés aux traitements et nettoyages par voie humide. Dans le cadre d’un partenariat avec un client industriel, le projet portera sur le développement et l’optimisation de procédés de stripping sur plusieurs matériaux d’intérêts. Des méthodes de caractérisation telles que l’ellipsométrie, la microscopie à force atomique ou la spectrométrie photoélectronique pourront être employées pour mesurer la consommation des matériaux et les modifications chimiques induites. Au cours de son travail, vous serez fréquemment amené(e) à échanger avec les équipes du CEA-Leti et les partenaires industriels. L’objectif de l’étude sera de définir les paramètres de stripping pour divers matériaux à travers des solvants dédiés, et d’implémenter ces procédés pour un usage courant dans les salles blanches du Leti.

Bac+5 ingénieur micro et nano électronique