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Influence des paramètres de dépôt d'oxyde sur les caractéristiques de collage H/F


Détail de l'offre

Informations générales

Entité de rattachement

Le Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) est un organisme public de recherche.

Acteur majeur de la recherche, du développement et de l'innovation, le CEA intervient dans le cadre de ses quatre missions :
. la défense et la sécurité
. l'énergie nucléaire (fission et fusion)
. la recherche technologique pour l'industrie
. la recherche fondamentale (sciences de la matière et sciences de la vie).

Avec ses 16000 salariés -techniciens, ingénieurs, chercheurs, et personnel en soutien à la recherche- le CEA participe à de nombreux projets de collaboration aux côtés de ses partenaires académiques et industriels.  

Référence

2019-10537  

Description du poste

Domaine

Technologies micro et nano

Contrat

Stage

Intitulé de l'offre

Influence des paramètres de dépôt d'oxyde sur les caractéristiques de collage H/F

Sujet de stage

Il existe aujourd'hui un besoin de comprendre plus finement la relation entre les caractéristiques de collage d'oxyde SiO2 PECVD (et PEALD pour comparaison) et les paramètres de dépôt/recuit, notamment leur effet sur la densité de ces oxydes, leur contrainte, mais aussi sur les résiduels d'hydroxyles (Si-OH), voire Si-H

Durée du contrat (en mois)

6 mois

Description de l'offre

L’étude consistera à étudier les principaux paramètres de dépôt (température, puissance plasma, débits de gaz..) et de faire ressortir l’effet le plus significatif sur la qualité du collage. Dans ce but, le travail consistera à caractériser les couches obtenues par des méthodes de caractérisation in –line (stress, infra rouge..), mais aussi des méthodes optiques plus sensibles disponibles sur la Plate Forme de nano caractérisation du LETI, comme le MIR (Infra rouge à réflexion multiple), l’IR à incidence oblique

Ce travail sera dans une approche transverse avec les différentes compétences (dépôt , collage et caractérisation) afin de faire émerger cette signature significative du procédé sur la qualité du collage.

 

Pour postuler à cette annonce, merci de contacter Mr NIETO Jean-Pierre à l'adresse suivante : Jean-Pierre.nieto@cea.fr

Profil du candidat

Master 2

Localisation du poste

Site

Grenoble

Localisation du poste

France, Auvergne-Rhône-Alpes

Critères candidat

Possibilité de poursuite en thèse

Non

Demandeur

Disponibilité du poste

03/02/2020