Informations générales
Entité de rattachement
Le Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) est un organisme public de recherche.
Acteur majeur de la recherche, du développement et de l'innovation, le CEA intervient dans le cadre de ses quatre missions :
. la défense et la sécurité
. l'énergie nucléaire (fission et fusion)
. la recherche technologique pour l'industrie
. la recherche fondamentale (sciences de la matière et sciences de la vie).
Avec ses 16000 salariés -techniciens, ingénieurs, chercheurs, et personnel en soutien à la recherche- le CEA participe à de nombreux projets de collaboration aux côtés de ses partenaires académiques et industriels.
Référence
2022-23838
Description de l'unité
A Grenoble, au centre des Alpes, le LETI est un institut de recherche appliquée en micro et nano technologies, technologies de l'information et de la santé.
Interface privilégiée du monde industriel et de la recherche académique, il assure chaque année le développement et le transfert de technologies innovantes dans des secteurs variés via des programmes de recherche utilisant nos plateformes technologiques.
Description du poste
Domaine
Technologies micro et nano
Contrat
Stage
Intitulé de l'offre
Stage : Evaluation et caractérisation de procédés plasmas pour le collage direct H/F
Sujet de stage
En microélectronique, l'élaboration de structures SOI (Silicon On Insulator) pour la fabrication de circuits intégrés de nouvelle génération s'appuie souvent sur la technologie de collage par adhérence moléculaire. Cette technique repose sur le collage direct de deux surfaces à l'aide de procédés de traitement de surface à l'échelle nanométrique. Ce collage moléculaire peut être réalisé au moyen d'une activation par plasma. Dans le cadre de ce stage, nous nous proposons d'évaluer et de caractériser des procédés d'activation par plasma afin de répondre aux besoins des industriels.
Durée du contrat (en mois)
6 max
Description de l'offre
De nombreux paramètres du plasma peuvent influencer la qualité du collage entre deux substrats : gaz, pression, puissance, etc. L’objectif de ce stage est d’évaluer l’impact de ces différents paramètres sur le spectre du plasma. Un outil de diagnostic in-situ par spectroscopie d’émission optique permet de caractériser le procédé plasma. Vous devrez, dans un premier temps, vous familiariser avec cette technique d’analyse pour ensuite pouvoir analyser les spectres obtenus et ainsi définir quels sont les paramètres du plasma les plus influents et quelles modifications ils induisent. Des caractérisations physico-chimiques et topographiques (IR, XPS, AFM, etc.) seront ensuite réalisées afin d’envisager des corrélations entre le spectre du plasma et leur impact sur le substrat.
Toutes les études seront réalisées sur des équipements à l’état de l’art technologique : réacteur de gravure plasma 300 mm et équipements d’analyse de la salle blanche de la Plateforme Silicium, accès à la Plateforme de Nano-Caractérisation.
Vous serez accueilli(e) au sein du Laboratoire de gravure et de stripping qui développe une expertise sur ce sujet depuis 2 ans.
merci d'envoyer vos CV et LM à : aurelien.sarrazin@cea.fr
Profil du candidat
Master2 ou Ingénieur procédés plasma, couches minces
Localisation du poste
Site
Grenoble
Localisation du poste
France, Auvergne-Rhône-Alpes, Isère (38)
Ville
Grenoble
Critères candidat
Diplôme préparé
Bac+5 - Master 2
Possibilité de poursuite en thèse
Oui
Demandeur
Disponibilité du poste
01/02/2023