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Moteur de recherche d'offres d'emploi CEA

Alternance : Evaluation de la capacité de décontamination métallique de solutions chimiques H/F


Détail de l'offre

Informations générales

Entité de rattachement

Le Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) est un organisme public de recherche.

Acteur majeur de la recherche, du développement et de l'innovation, le CEA intervient dans le cadre de ses quatre missions :
. la défense et la sécurité
. l'énergie nucléaire (fission et fusion)
. la recherche technologique pour l'industrie
. la recherche fondamentale (sciences de la matière et sciences de la vie).

Avec ses 16000 salariés -techniciens, ingénieurs, chercheurs, et personnel en soutien à la recherche- le CEA participe à de nombreux projets de collaboration aux côtés de ses partenaires académiques et industriels.  

Référence

2022-21339  

Description du poste

Domaine

Technologies micro et nano

Contrat

Alternance

Durée du contrat (en mois)

24 mois max

Description de l'offre

A Grenoble, au centre des Alpes, le LETI est un institut de recherche appliquée en micro et nano technologies, technologies de l’information et de la santé.

Interface privilégiée du monde industriel et de la recherche académique, il assure chaque année le développement et le transfert de technologies innovantes dans des secteurs variés via des programmes de recherche utilisant nos plateformes technologiques.

Dans le circuit de fabrication d’un composant microélectronique, une vigilance toute particulière de la contamination métallique a débuté avec l’introduction des interconnections en cuivre qui permettent de relier les transistors entre eux. Cet intérêt à limiter la cross contamination n’a fait qu’augmenter avec l’utilisation des matériaux High K et des métaux utilisés dans la grille. Le suivi de la contamination métalliques des faces arrières des substrats de silicium est un paramètre clé pour obtenir un bon rendement des puces et garantir l’intégrité des équipements utilisés en salle blanche. Ainsi, le suivi des faces arrières des substrats sur lesquels sont élaborés les puces est indispensable, et leur niveau de contamination métallique doit toujours être minimisé.

Dans ce cadre, le LETI a développé depuis plusieurs années une solide expertise dans  les procédés de décontamination métallique des substrats de silicium par voie humide. Sur la ligne de prototypage 300mm, un procédé de décontamination métallique a été mis en place mais s’avère être trop agressif pour le substrat Silicium pour les filières avancées.

A l’aide des équipements de nettoyage de dernière génération sur substrats 300mm disponibles au Léti, différentes chimies seront testées et leur réactivité vis-à-vis des contaminants métalliques standards (Cu, Ni, Co, Alu…) sera étudiée. Pour cela,  plusieurs techniques de caractérisation seront mises en œuvre: TXRF et VPD-ICPMS (mesures de la contamination métallique), ellipsométrie ou mesures de résistivité (consommation des chimies sur matériaux diélectriques et couches métalliques), AFM, MEB (mesures de rugosité surfacique et observations microscopiques sur plaques exposées aux chimies). L’objectif final est la mise en place d’une séquence de décontamination efficace, robuste et répondant aux besoins des filières avancées.

Profil du candidat

Bac+2 BUT chimie

Localisation du poste

Site

Grenoble

Localisation du poste

France, Auvergne-Rhône-Alpes, Isère (38)

Ville

GRENOBLE

Critères candidat

Diplôme préparé

Bac+3 - DNTS - POST BTS - POST DUT

Demandeur

Disponibilité du poste

05/09/2022