A Grenoble, au centre des Alpes, le LETI est un institut de recherche appliquée en micro et nano technologies, technologies de l’information et de la santé.

Interface privilégiée du monde industriel et de la recherche académique, il assure chaque année le développement et le transfert de technologies innovantes dans des secteurs variés via des programmes de recherche utilisant nos plateformes technologiques.

Le Département des PlateFormes Technologiques (DPFT) du LETI souhaite approfondir le suivi de dépôts (diélectriques et métalliques) utilisés dans la fabrication de composants au LITP (Laboratoire d’Intégration Technologique pour la Photonique). L’objectif est de pouvoir caractériser ces dépôts pour s’assurer de la performance des équipements.

Mise en place de suivi métrologique et procédé d’équipements de salles blanches pour les technologies matériau III-V/SiC, le travail, à forte dominante expérimentale, se déroulera en salle blanche. Vous devrez vous former à l’utilisation des équipements de dépôt et réaliser la caractérisation des dépôts. Vous définirez les procédés de dépôts critiques dans la fabrication des composants du LITP. Vous proposerez ensuite un plan de suivi de ces dépôts clés en s’appuyant sur les outils de métrologie (ellipsométrie, mesure Rcarré…).

Ce travail nécessitera une adaptation rapide aux méthodes de travail en salle blanche avec de nombreuses interactions avec l’équipe de technologues CEA-Leti.

L’objectif est de mettre en place un suivi sur des dépôts diélectriques et métalliques en utilisant les outils de caractérisation disponibles à la PFP (PlateForme Photonique).

En fonction de la maitrise de la Zone dépôt, nous étendrons au suivi de la zone gravure.

Bac+ 3 Métrologie, sciences des matériaux