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Moteur de recherche d'offres d'emploi CEA

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Analyse d'une chaine de fabrication de composants microélectroniques H/F


Détail de l'offre

Informations générales

Entité de rattachement

Le Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) est un organisme public de recherche.

Acteur majeur de la recherche, du développement et de l'innovation, le CEA intervient dans le cadre de ses quatre missions :
. la défense et la sécurité
. l'énergie nucléaire (fission et fusion)
. la recherche technologique pour l'industrie
. la recherche fondamentale (sciences de la matière et sciences de la vie).

Avec ses 16000 salariés -techniciens, ingénieurs, chercheurs, et personnel en soutien à la recherche- le CEA participe à de nombreux projets de collaboration aux côtés de ses partenaires académiques et industriels.  

Référence

2018-7239  

Délai de traitement

2 mois

Description du poste

Domaine

Technologies micro et nano

Contrat

Stage

Intitulé de l'offre

Analyse d'une chaine de fabrication de composants microélectroniques H/F

Sujet de stage

Physico-chimie des matériaux, environnement ultra-propre, caractérisation, nanotechnologie

Durée du contrat (en mois)

6 mois

Description de l'offre

La propreté des plaques Silicium utilisées dans l'industrie microélectronique est obligatoire tout au long de la chaine de fabrication pour obtenir un haut rendement de fabrication. Une contamination par des impuretés métalliques peut avoir des effets néfastes sur les procédés mis en œuvre (modification de croissance de couche, propriétés électriques…) et sur les performances finales du dispositif. Aujourd’hui, des niveaux de contamination toujours plus faibles sont requis pour les technologies les plus avancées et la contamination apportée sur la tranche et le bord de plaque devient une préoccupation grandissante avec l’utilisation de robots de manipulation des plaques utilisant cette zone.  Aussi, la méconnaissance des concentrations réelles de contaminants, de leur dissémination le long d’une chaine de production ou encore de leur évolution physico-chimique au cours des process constitue une problématique industrielle forte.

Au sein des salles blanches de la plateforme R&D des technologies silicium du LETI, le travail demandé aura pour objet d’établir les niveaux de contamination apportés aux substrats Si tout au long de la fabrication d’un produit par les équipements de process (Traitement thermique, CMP, collage, gravure sèche ou humide, photolithographie, nettoyage humide…), par les systèmes automatisés de manipulation et les boites de transfert/transport de plaques. Le transfert des contaminants à la plaque et la dissémination le long de la ligne de procédés seront étudiés comme par exemple dans le cas du transfert entre les containers et le bord de plaques. Les techniques ultra sensibles que sont la TXRF (Total reflection X-ray Fluorescence) et la VPD-ICPMS (Vapor Phase Decomposition – Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry) seront utilisées pour ces mesures.

L’analyse de ces données sera réalisée au regard des spécifications de propreté recommandées industriellement. Enfin, l’étude de l’évolution et de l’impact de contaminants critiques identifiés sera menée. Pour cela, des contaminations intentionnelles contrôlées en métaux seront mises en œuvre pour étudier leur comportement lors de process chauds (diffusion en volume, ségrégation aux interfaces…) et/ou pour évaluer la défectivité induite sur un produit sensible et déterminer la relation dose-effet.

 Pour postuler à cette offre, merci de contacter Mr FONTAINE à l'adresse suivante : herve.fontaine@cea.fr

 

 

Localisation du poste

Site

Grenoble

Localisation du poste

France, Rhone-Alpes

Lieu

17 avenue des martyrs, Grenoble

Critères candidat

Formation recommandée

M2, 3è année d'école d'ingénieur en physico-chimie des matériaux

Demandeur

Disponibilité du poste

04/02/2019