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Moteur de recherche d'offres d'emploi CEA

Evaluation de nouvelles techniques de mesures de désalignement par imagerie électronique H/F


Détail de l'offre

Informations générales

Entité de rattachement

Le Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) est un organisme public de recherche.

Acteur majeur de la recherche, du développement et de l'innovation, le CEA intervient dans le cadre de ses quatre missions :
. la défense et la sécurité
. l'énergie nucléaire (fission et fusion)
. la recherche technologique pour l'industrie
. la recherche fondamentale (sciences de la matière et sciences de la vie).

Avec ses 16000 salariés -techniciens, ingénieurs, chercheurs, et personnel en soutien à la recherche- le CEA participe à de nombreux projets de collaboration aux côtés de ses partenaires académiques et industriels.  

Référence

2021-19215  

Description de l'unité

A Grenoble, au centre des Alpes, le LETI est un institut de recherche appliquée en micro et nano technologies, technologies de l'information et de la santé.
Interface privilégiée du monde industriel et de la recherche académique, il assure chaque année le développement et le transfert de technologies innovantes dans des secteurs variés via des programmes de recherche utilisant nos plateformes technologiques.

Description du poste

Domaine

Technologies micro et nano

Contrat

Stage

Intitulé de l'offre

Evaluation de nouvelles techniques de mesures de désalignement par imagerie électronique H/F

Sujet de stage

Les composants microélectroniques sont obtenus par la superposition de niveaux successifs. Pour le bon fonctionnement du dispositif final, la structure d'un niveau doit être bien alignée avec celle du précédent. Une mesure optique, nommée overlay (OVL), permet d'obtenir les valeurs de ce désalignement (en X et Y). Dans une second temps, un modèle mathématique associé à la mesure OVL fournit la correction à la lithographie suivante. Cependant, cette mesure optique est généralement réalisée sur des marques relativement larges et positionnées dans des zones dédiées. Il reste donc un doute sur la valeur réelle du désalignement en un point actif du composant (ex: transistor). Avec la miniaturisation des dispositifs qui entraine un budget de désalignement toujours plus faible, un contrôle précis et fiable à l'échelle du composant devient critique. Ce constat partagé par les équipes de métrologie du Leti et de STMicroelectronics à Crolles est à l'origine de ce sujet de stage qui s'inscrit don

Durée du contrat (en mois)

6 max

Description de l'offre

Ce travail de métrologie comporte deux phases principales  :

 

1.Validation de la mesure OVL par CDSEM sur structures dédiées: vous devrez réaliser des mesures directes par CDSEM (microscope électronique à balayage) grâce à un algorithme automatisé. Vous serez en charge de coordonner la sélection de plaques d’intérêt (potentiellement avec désalignement intentionnel) pour ainsi pouvoir valider la justesse, précision et linéarité de cette mesure. Vous devrez comparer statistiquement les résultats avec les méthodes optiques traditionnelles disponibles.

2.Application de la mesure OVL par CDSEM sur des composants actifs : la méthodologie développée par CDSEM sera appliquée sur des plaques produits de technologies diverses. Vous devrez tout particulièrement comparer l’impact du type de mesures OVL (optique ou CDSEM) sur la qualité des modèles de correction lithographie et notamment le résiduel associé. Vous statuerez ainsi sur la valeur ajoutée de ce nouveau type de contrôle.

Vous serez co-encadré par les équipes métrologie des deux entités. Vous serez principalement basé au Leti où vous effectuerez les mesures en salle blanche. Vous serez amené(e) à intervenir sur le site de STMicroelectronics pour des échanges techniques et présentation de vos résultats.

 

Envoi des CV et LM : cyril.vannuffel@cea.fr

Profil du candidat

Bac +5 3ème année école ingénieur/ Master 2

Micro électronique

Localisation du poste

Site

Grenoble

Localisation du poste

France, Auvergne-Rhône-Alpes, Isère (38)

Ville

GRENOBLE

Critères candidat

Diplôme préparé

Bac+5 - Diplôme École d'ingénieurs

Demandeur

Disponibilité du poste

07/02/2022