Informations générales
Entité de rattachement
Le Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) est un organisme public de recherche.
Acteur majeur de la recherche, du développement et de l'innovation, le CEA intervient dans le cadre de ses quatre missions :
. la défense et la sécurité
. l'énergie nucléaire (fission et fusion)
. la recherche technologique pour l'industrie
. la recherche fondamentale (sciences de la matière et sciences de la vie).
Avec ses 16000 salariés -techniciens, ingénieurs, chercheurs, et personnel en soutien à la recherche- le CEA participe à de nombreux projets de collaboration aux côtés de ses partenaires académiques et industriels.
Référence
2022-24789
Description du poste
Domaine
Matériaux, physique du solide
Contrat
Stage
Intitulé de l'offre
Stage - Intégration de contacts en technologie 10FDSOI H/F
Sujet de stage
Intégration de contacts en technologie 10FDSOI
Durée du contrat (en mois)
6
Description de l'offre
Cadre et contexte:
Le CEA-Leti développe et intègre des technologies innovantes pour l'industrie du semi-conducteur. Ses équipes préparent la prochaine génération de composants logiques en technologie FDSOI. Au-delà des performances accrues qu’ils permettront, ces composants offriront des gains importants de consommation en énergie. Cependant, les challenges technologiques sont multiples. Parmi ceux-ci, l’intégration de millions de transistors par cm² requiert une parfaite maîtrise de la réalisation des contacts électriques sur différentes topographies et différents matériaux, tout en respectant des contraintes agressives d’alignement et de positionnement de ces contacts sur les sources, drains et grilles, des transistors sous-jacents. Plus précisément, le travail de stage se propose d’identifier et de caractériser de nouveaux matériaux permettant d’améliorer la robustesse du procédé de réalisation des contacts électriques, et de proposer des solutions innovantes d’intégration de ces matériaux dans le flow de réalisation des composants microélectroniques.
Travail demandé:
Le travail portera sur l’étude de matériaux potentiellement utilisables comme couche d’arrêt de gravure plasma, et se déroulera pour partie en salle blanche sur des plaques de silicium en diamètre 300mm. Il. Après une large revue bibliographique des matériaux envisageables, le candidat s’attachera à caractériser la résistance de ces matériaux aux chimies de gravure sèche et de nettoyage humide. Les meilleurs candidats identifiés lors de cette première phase seront ensuite intégrés dans un flow complet de réalisation de circuits intégrés en technologie 28nm sur FDSOI, afin d’en valider l’efficacité au travers de caractérisations morphologiques et électriques. L’objectif final de ce stage est d’identifier une solution technologique applicable en technologie FDSOI 10nm et qui puisse ensuite être transférée aux partenaires industriels du CEA-LETI. Le candidat devra faire preuve de rigueur, d’autonomie, d’esprit critique et de capacités d’analyse pour réussir.
Profil du candidat
Master 2 ou Ingénieur
Matériaux, Physique du solide
Localisation du poste
Site
Grenoble
Ville
Grenoble
Critères candidat
Diplôme préparé
Bac+5 - Master 2
Possibilité de poursuite en thèse
Oui
Demandeur
Disponibilité du poste
01/04/2023