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Moteur de recherche d'offres d'emploi CEA

Optimisation et développement de mesures de la contamination métallique par TXRF H/F


Détail de l'offre

Informations générales

Entité de rattachement

Le Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) est un organisme public de recherche.

Acteur majeur de la recherche, du développement et de l'innovation, le CEA intervient dans le cadre de ses quatre missions :
. la défense et la sécurité
. l'énergie nucléaire (fission et fusion)
. la recherche technologique pour l'industrie
. la recherche fondamentale (sciences de la matière et sciences de la vie).

Avec ses 16000 salariés -techniciens, ingénieurs, chercheurs, et personnel en soutien à la recherche- le CEA participe à de nombreux projets de collaboration aux côtés de ses partenaires académiques et industriels.  

Référence

2019-10525  

Description du poste

Domaine

Technologies micro et nano

Contrat

Stage

Intitulé de l'offre

Optimisation et développement de mesures de la contamination métallique par TXRF H/F

Sujet de stage

La propreté des plaques Silicium utilisées dans l'industrie microélectronique est obligatoire tout au long de la chaine de fabrication pour obtenir un haut rendement de fabrication. En effet la présence d'impuretés métalliques peut avoir des effets néfastes sur les procédés mis en œuvre (modification de croissance de couche, propriétés électriques…) et sur les performances finales du dispositif. Les besoins de contrôle de cette contamination requièrent la mesure de contaminants toujours plus nombreux, à de concentrations toujours plus faibles. La possibilité de localiser la contamination notamment en bord de bord de plaque (zone de contact avec les containers des plaques ou de certains robots de manipulation des plaques), devient nécessaire. Parmi les techniques de mesures disponibles, la spectrométrie de Fluorescence de Rayons X en réflexion Totale (TXRF) constitue une technique incontournable.

Durée du contrat (en mois)

6 mois

Description de l'offre

Au sein des salles blanches de la plateforme R&D des technologies silicium du LETI, le travail demandé aura pour but d’optimiser et mettre en place de nouvelles analyses des contaminants métalliques par TXRF sur un équipement de dernière génération. L’équipement inclut un module de préparation chimique VPD (Vapor Phase Decomposition) permettant la désoxydation des substrats Si ainsi que la concentration des contaminants de surface en un point par collecte chimique à l’aide d’un très petit volume de solution et de son séchage. Plus précisément, il s’agira de:  

-Optimiser et évaluer l’analyse en bord de plaques et l’appliquer au suivi d’équipement dans des cas d’intérêt ou à la qualification de procédé de décontamination de bord de plaque,
-Déterminer les performances des mesures TXRF couplées à une étape chimique préparatoire HSST (High Sensitivity Surface Treatment-TXRF) ou une collecte/concentration chimique (VPD –TXRF)
-Améliorer la calibration des mesures TXRF en utilisant / évaluant de nouveaux wafers de calibration.

 

Pour postuler à cette offre, merci de contacter Mr FONTAINE Hervé à l'adresse suivante : herve.fontaine@cea.fr

Profil du candidat

Ecole d'ingénieur en physico-chimie des matériaux, caractérisation physico-chimique/ Master 2

Localisation du poste

Site

Grenoble

Localisation du poste

France, Auvergne-Rhône-Alpes

Demandeur

Disponibilité du poste

03/02/2020